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氧化锌ZnO

文字:[大][中][小] 2015-6-4    浏览次数:1283    
 


       氧化锌(ZnO)是很好的GaN薄膜(蓝光LED)衬底材料[1],[2],具有60mev的激子束缚能以及室温下3.73ev带隙使之成为紫外以及可见光发光材料.同时由于具有可见区透明,机电耦合系数大,能使气体分子在其表面的吸附-解析等性质,有望在高峰值能量的能量限制器、大直径高质量的GaN的衬底、未来的5GHz之外的无线通信、高电场设备、高温高能电子器件、高电场设备、高温高能电子器件等方面得到广泛应用.


生长方法

水热法

晶体结构

六方

晶格常数(Å)

a=3.252    c=5.313

晶向

<0001>、<11-20>、<10-10>±0.5º

尺寸(mm)

25×25×0.5、10×10×0.5、10×5×0.5、5×5×0.5

可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底

抛光

单抛片、双抛片或切割片

表面粗糙度

Surface roughness(Ra):<=5Å

可提供原子粒显微镜(AFM)检测报告

物理性质

密度(g/cm3

5.7

硬度(mohs)

4

熔点(℃)

1975

热膨胀系数(/℃)

6.5 x 10-6 //a, 3.7 x 10-6 //c

比热容(Cal/g /℃)

0.125

热电常数(mv/k)

1200 @ 300℃

热导(cal/cm/k)

0.006

透过范围

0.4-0.6 um > 50% at 2mm

包装

100级洁净袋,1000级超净室

 
 


[1] GaN epitaxy on thermally treated c-plane bulk ZnO substrates with O and Zn faces. Appl. Phys. Lett. 84, 2268 (2004)

[2] Optical properties of GaN grown on ZnO by reactive molecular beam epitaxy. Appl. Phys. Lett. 70, 467 (1997)


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