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氧化锌(ZnO)是很好的GaN薄膜(蓝光LED)衬底材料[1],[2],具有60mev的激子束缚能以及室温下3.73ev带隙使之成为紫外以及可见光发光材料.同时由于具有可见区透明,机电耦合系数大,能使气体分子在其表面的吸附-解析等性质,有望在高峰值能量的能量限制器、大直径高质量的GaN的衬底、未来的5GHz之外的无线通信、高电场设备、高温高能电子器件、高电场设备、高温高能电子器件等方面得到广泛应用.
生长方法 |
水热法 |
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晶体结构 |
六方 |
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晶格常数(Å) |
a=3.252 c=5.313 |
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晶向 |
<0001>、<11-20>、<10-10>±0.5º |
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尺寸(mm) |
25×25×0.5、10×10×0.5、10×5×0.5、5×5×0.5 |
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可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的衬底 |
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抛光 |
单抛片、双抛片或切割片 |
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表面粗糙度 |
Surface roughness(Ra):<=5Å |
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可提供原子粒显微镜(AFM)检测报告 |
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物理性质 |
密度(g/cm3) |
5.7 |
硬度(mohs) |
4 |
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熔点(℃) |
1975 |
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热膨胀系数(/℃) |
6.5 x 10-6 //a, 3.7 x 10-6 //c |
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比热容(Cal/g /℃) |
0.125 |
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热电常数(mv/k) |
1200 @ 300℃ |
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热导(cal/cm/k) |
0.006 |
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透过范围 |
0.4-0.6 um > 50% at 2mm |
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包装 |
100级洁净袋,1000级超净室 |
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